油封機械真空泵零碎的返流起因
油封機械真空泵(簡稱電泵)寬泛利用于真空零碎中,少數作為前級真空泵。因為迷信技能的停滯,對骯臟真空的務求愈來愈廣泛.因而電泵中的油蒸氣返油問題便愈來愈受到注重。咱們把電泵油流向高真空端的景象所謂電泵的返油。
電泵零碎的返流起因
返油景象時常產生在抽上呼吸道道中壓力較低時,正常零碎粗抽時(真空度大于130Pa)不會產生返流景象,所以此時彈道中的氣旋為定向粘滯流。然而隨著泵出口彈道中的壓力升高,氣體固定狀態由定向粘滯流逐步變為自在分子流,油蒸氣分子的均勻自在程一直增大,使分子之間的碰撞位數一直縮小,這就會使電泵油分子跑到放散泵中或經過粗抽彈道跑到真空室中,凈化真空零碎。
關于電泵與油放散泵組成的真空零碎,電泵油進入到放散泵中后,豈但莫須有放散泵的極限真空,而且會使放散泵的返油率增多。早在1960年歲,Baker與LaHrenson用氣液色譜儀對零碎中的氣體成份繼續綜合,發現電泵中只管用的是均勻分子量為530的礦產油,但返流的油蒸氣分子量卻小于300,均勻值為150。這表明電泵油裂解是電泵返油的重要成分。電泵作業內中中是靠油膜密封和光滑的,在電泵中因為非金屬旋片與非金屬泵腔內壁附著產生全部過熱,使旋片陸續劃破賊亮滑膜,招致泵油產生復雜性的熱合成或熱非金屬作觸媒的合成,油合成成碎片,從而產生輕餾分的油蒸氣。這種輕餾分油蒸汽的分子量小,易反放散,較輕易跑到高真空端。若在礦產油中摻入l%的滑潤劑(例MoS2),使泵內附著加重,或采納性能良好的放散泵油作電泵作業液,可使油的衰變失去改善。那末采納全氟聚醚(Fomblin)作電泵油,則返油率可升高1/3,而且它的蒸氣或碎片(CF2,CF3,C3F3)在電子的轟擊下不會構成聚合膜,而且組分中不蘊含氫或硅,因而不會反響生成碳氫復合物或硅復合物。表1給出了雙級油封電泵采納相反作業液的返油率測試后果。
表1雙級電泵的返油率嘗試后果
試驗證實,電泵返油率與泵的大小、旋片的線進度、泵作業熱度等成分無關。泵越大返油率越大;旋片進度越高返油率越高;作業熱度越高,油蒸氣的決裂也愈重大,即油蒸氣的返流愈重大。
羅茨水環真空機組、羅茨旋片真空機組
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